把拼好的三十厘米🖷🗎🚛见方的蒙板,“啪”的一声卡在仪器的中部位置,离着地面大约一米左右,用力的锁死,李察又拿出一厘米见方的底片来——是蒙板面积九百分之一。
把🜛这片微🛃🙬🛃🙬小的、涂好光刻胶的底片,小心翼翼的放在仪器的最下部,“啪”的一声同样卡死、锁定,李察开始调整位于仪器各个部位的透镜。
透镜的作用是调整光线的传播,保证光源的光线能照射🍽🍦🍽🍦在整🔵🄺个蒙板上,穿过蒙板之后收缩,按照特定的比例再照射到微小的底片上,完成光刻。
这是一个精细🁯🉑活,李察不断调整测试,忙了好半晌才完成。
之后李察深吸一口气,双手按在仪器的两侧,用力一合。只听“咔”的一声,仪器本来看上下像是从侧面裂开的铜钟,现在这铜钟则是合拢了。
李察按在“铜钟”外面的一个按钮上面,“嗡嗡嗡”的🍽🍦声音响起,开始抽离内部的空气,🛆保证仪💳🕷器内部处于真空状态。
完成这些,李察再次检查了一遍,确🕠定没有任何问题,伸手按在了仪器最顶部的一个按钮上,那是光源的开关。
“啪嗒!”
光源开启,当前这个类似中世纪的巫师世界,第一次芯🍽🍦片🕍🈓光刻,正式开始!🄛
透过仪器特定部位的透明面板,能看到内部像是明亮的几分,但实际上💚💗并没有什么变化,只是错💳🕷觉。
因为,光源释放出的不是可见光。
一般来说,正常人类的的眼睛,可以感知的光线波长在40🔵🄺0~760n间,少数比较敏感⛄🗶的人则是可以把范围扩大到380~780n间。
现🜛在光源释放的是深紫外线,波长200n350n完不在可见范围,肉眼看不到。
这种深紫外线,有着特殊的能量反应,在地球上广泛用于净水厂、医院、工厂无尘车间的空气杀菌。现在仪器内部被抽成真空,深紫外线免除了与空气的反应,可以直接用于光刻。
实际上,如果用10n14n间的极紫外线来光刻,效果更佳,这算是地球上第五代光刻机的技术。不过考虑到实现的难度,以及目🈩🀻🁾前只是实现性的尝试,李察没有弄这么复杂,准备取得一🅅定成果后,再一点点的升级技术。
在李察的注视中,光刻机稳定运行,不可见的光线一束束的透过蒙板和透镜,集中的到达一厘👈米见方的底片上。